— 石英砂问答 —
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发布时间:2023-03-16 人气: 146
在半导体制作工艺中,80%以上的工序要经过化学处理,而每一道化学处理都离不开超纯水,在硅片的处理工序中, 一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程,此时如水中含有杂质便会进入硅片,造成器件性能下降成品率低。
只是制作超纯水的水源大多都是自然水,地表水等,而这些水源中都存在着大量的非溶解性质包括黏土,砂石,细菌,微生物,藻类,浮游生物等等,这些若不处理好都会影响着超纯水的水质。
石英砂过滤器是一种一种压力式过滤器,采用石英砂作为填料,利用过滤器内所填充的精制石英砂滤料,对泥沙,胶体,金属离子以及有机物进行截留,当进水自上而下流经滤层时,水中的悬浮物及粘胶质颗粒被去除,从而提高水的品质。
石英砂过滤器截留原理: 原水在管道内加入絮凝剂,絮凝剂在水中发生离子水解和聚合过程。水中胶体粒子对水解及聚集的各种产物进行强烈的吸附,使粒子表面电荷和扩散厚度同时降低,因而粒子间相互排斥能降低,相互接近而凝聚,水解产生的聚合物被两个以上的胶体吸附后,在粒子间产生架桥联接,逐步形成较大的絮凝体经过石英砂过滤器时,为砂滤料载留。
以上就是石英砂过滤器在半导体工艺中的应用。在半导体制作工艺中,超纯水是不可或缺的,不过对于超纯水来说石英砂过滤器同样也是不可缺少的一步。
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