— 石英砂问答 —
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发布时间:2023-01-29 人气: 86
以5G、人工智能和云计算为代表的数字技术正在快速改变社会,半导体是这场数字化技术革命的基石。半导体技术最大的应用是集成电路(IC),智能手机、笔记本电脑、信用卡到地铁,我们日常生活所依赖的各种物品都用到了半导体。其中核心零部件是芯片,而生产芯片所需的硅材料,主要来源于砂。
“沙”是自然的颗粒级配,没有含泥、污、杂物的限制要求,是个总称呼名。
“砂”则意味着能作为建筑材料、有一定的质量要求的土类。例如剧风化的花岗岩颗粒就不能叫“砂”,尽管它们非常相似,但主要因素是其没有强度质量。
由自然条件作用(主要是岩石风化)而形成的,粒径在5mm以下的岩石颗粒,称为天然砂。
1、形成:砂岩又称砂粒岩,是由于地球的地壳运动,砂粒与胶结物(硅质物、碳酸钙、粘土、氧化铁、 硫酸钙等)经长期巨大压力压缩粘结而形成的一种沉积岩。
2、成分:主要成分为砂粒(二氧化硅)含量在65%以上、胶结物。 其中天然石英砂多来自石英矿床,二氧化硅含量在90%及以上。
3、性质:呈弱酸性。
4、结构:砂石的颗粒均匀,质地细腻,结构疏松,因此吸水率较高(在防 护时的造价较高),具有隔音、吸潮、抗破损,耐风化,耐褪色,水中不溶化、无放射性等特点。
石英砂样品
天然砂广泛用于玻璃、铸造、陶瓷及耐火材料、冶炼硅铁、冶金、建筑、化工、塑料、橡胶、磨料及滤料等工业。随着我国工业化和城市化进程的不断加快,基础设施建设,铁路、公路、机场、水利、乡村基础建设等等也都离不开天然砂。
天然砂与芯片的关系极为密切。制造芯片的原材料是硅材料,然而硅的获取是用砂子来提取而获得的。将砂子加热,分离其中的一氧化碳和硅,并不断重复该过程直至获得超高纯度的电子级硅(EG-Si)。由于天然砂的二氧化硅含量在90%以上,这无疑是提取工业硅最好的原材料之一。
第一步:沙子的提纯和处理
第一步就是把沙子中的硅提纯,要提纯到99.9999999%,9个9的纯度才能满足芯片制造。
提纯后的硅称为硅锭,这时候要把它变成硅棒,变成一根一根的原棒,再切割成一片一片的,形成硅晶圆片,再打磨光滑,那么沙子的提纯和处理就完成了,再也看不出是沙子了。
第二步:光刻和刻蚀
这一步主要用到光刻机和刻蚀机,首先把硅晶圆片放到烧炉,在表面形成一层均匀的氧化膜,然后再涂上光刻胶。用光刻机通过光罩把芯片设计电路图投射到涂了光刻胶的硅晶圆上,形成了电路图。
而后用刻蚀机把这个投射出的电路图腐蚀掉了,露出硅基底,形成了电路的样子。这时候硅晶圆上是坑坑洼洼的。
第三步:等离子注入、镀铜
接下来就是等离子注入了,把坑坑洼洼的电路图注满等离子,然后通过热处理,将这些离子稳定下来,这样就形成了构成芯片的所谓的几十上百亿的晶体管了。
而晶体管是相互连接的,这时候要进行镀铜了,在硅晶圆片上均匀镀上一层铜,然后再通过打磨、光刻、刻蚀等等步骤,把铜切割成一条一条的细线,连接好所有的晶体管,真正形成电路图。
第四步:封装、测试
因为芯片有很多层电路,2-3步骤只是一层电路,所以整个2-3的步骤会重复很多遍,多少层就重复多少遍,最后成为加工好的硅晶圆片。
加工好之后就是切割成一块一块的,再进行测试、封装,就成为了一块可安装到设备中的芯片了。
以上是将芯片制造过程进行了简单总结,在具体的制造过程中总共有6000多道工序。在这6000多道工序中,面临着重重难题,那么下面我们就来说说芯片制造所面临的难点。
芯片制造主要面临的难点,可总结为以下7点。
1. 材料纯度极高
所用晶圆纯度高达“11个9”,即99.999999999%,洁净度也比手术室的要求严格100倍。
2. 复杂度极大
集成了数百亿的晶体管,复杂程度可想而知。
3. 制程尺寸极小
晶体管的尺寸已经来到5nm的水平。
4. 设备极复杂
半导体对于精度和功能的要求很高,导致简单的工艺能很难满足高精尖的需求。所以需要很多复杂的设备参与生产,比如光刻机。光刻机的光源和光学反射系统都是相当复杂的系统。
5. 投资成本极大
建造一座10nm以下,并拥有产能10万片晶圆/月的晶圆厂需要百亿美元的规模。不光是设备,相关工艺研发也是同等数量级的。
6. 工作流程极长
设备繁多,多以串行处理贯穿制造始终,工作流程的设计、实行、监控要求很高。
7. 分工极细,融合极其紧密
从设计,EDA(电子设计自动化),设备和材料的相互融合,都是各大企业以数十年的行业基础推动而成的,使得后来者很难居上甚至介入。
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